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1.标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）2.搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪3.镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升4.观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像5.采用侧面放入样品的新型样品
